硅片燒結(jié)升降爐原理

邦世達(dá)硅片燒結(jié)升降爐的原理基于精準(zhǔn)溫控、氣氛調(diào)控與機(jī)械升降的協(xié)同作用，專為硅片燒結(jié)工藝設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的材料處理。

1. 溫控系統(tǒng)

采用PID智能溫控儀表，可預(yù)設(shè)多段升溫、恒溫、降溫程序，溫度控制精度達(dá)±1℃。通過(guò)硅碳棒或硅鉬棒加熱元件，配合雙層爐殼風(fēng)冷系統(tǒng)及輕質(zhì)保溫材料，確保爐內(nèi)溫度均勻性，滿足硅片燒結(jié)對(duì)溫度穩(wěn)定性的嚴(yán)苛要求。

2. 爐體升降結(jié)構(gòu)

電動(dòng)環(huán)狀銷輪減速器驅(qū)動(dòng)爐體沿內(nèi)外軌道升降，裝卸料時(shí)爐體下降至低位，減少搬運(yùn)震動(dòng)對(duì)硅片的損傷；燒結(jié)時(shí)爐體上升至高溫區(qū)，實(shí)現(xiàn)密閉環(huán)境下的均勻加熱。

3. 氣氛控制

通過(guò)氣體流量計(jì)向爐內(nèi)通入氮?dú)狻錃獾缺Ｗo(hù)氣氛，防止硅片氧化。高精度熱電偶實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)爐內(nèi)氣氛及溫度，確保燒結(jié)過(guò)程的氣體純度與溫度一致性。

4. 安全與自動(dòng)化

爐門開(kāi)啟時(shí)自動(dòng)斷電，配備過(guò)流、限流、過(guò)熱保護(hù)功能，確保操作安全。支持程序化運(yùn)行，用戶可一鍵啟動(dòng)預(yù)設(shè)工藝，減少人工干預(yù)，提升生產(chǎn)效率。

邦世達(dá)升降爐通過(guò)模塊化設(shè)計(jì)，兼顧高溫穩(wěn)定性與操作便捷性，適用于半導(dǎo)體、電子陶瓷等領(lǐng)域的小批量生產(chǎn)與科研實(shí)驗(yàn)。